제품소개

제품소개

Disilane

주요 용도 : 저온 및 고속 성막 공정용 실리콘 막 형성용 CVD 가스

용도 분류

  • 반도체공정재료
  • 전기・전자기기

특성 분류

세부 자료 : 일본어 / English

  • 기본정보

    개요
    고순도 특수가스 분야에서 업계를 선도하는 미쓰이화학은 풍부한 합성·분석 기술 경험을 살려 보다 고품위 특수가스를 제공함으로써 전자기기의 진화를 지원합니다.

    디실란은 보다 고속으로, 보다 저온에서의 실리콘 막 형성에 최적인 CVD 가스입니다.각종 전자 디바이스 제조에 도움이 되고 있습니다.

    고순도 자연 발화성 분해성

  • 특성

    특성
    자연 발화성
    공기에 닿는 것만으로 발화하기 때문에 엄중한 취급이 필요합니다.

    분해성
    분해성이 뛰어나고 다른 물질과 합치면 급격히 반응합니다.

    용도
    저온 및 고속 성막 공정용 실리콘 막 형성용 CVD 가스

  • 제품 카탈로그

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