제품소개
Disilane
주요 용도 : 저온 및 고속 성막 공정용 실리콘 막 형성용 CVD 가스
용도 분류
특성 분류
세부 자료 : 일본어 / English
기본정보
개요
고순도 특수가스 분야에서 업계를 선도하는 미쓰이화학은 풍부한 합성·분석 기술 경험을 살려 보다 고품위 특수가스를 제공함으로써 전자기기의 진화를 지원합니다.
디실란은 보다 고속으로, 보다 저온에서의 실리콘 막 형성에 최적인 CVD 가스입니다.각종 전자 디바이스 제조에 도움이 되고 있습니다.
고순도 자연 발화성 분해성
특성
특성
자연 발화성
공기에 닿는 것만으로 발화하기 때문에 엄중한 취급이 필요합니다.
분해성
분해성이 뛰어나고 다른 물질과 합치면 급격히 반응합니다.
용도
저온 및 고속 성막 공정용 실리콘 막 형성용 CVD 가스
제품 카탈로그
목록으로